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PVD Processes: X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS)

机译:PVD工艺:X射线光电子能谱(XPS)

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摘要

X-ray photoelectron spectroscopy (XPS)—or as it is sometimes called, electron spectroscopy for chemical analysis (ESCA)—is a surface-sensitive analytical technique that analyzes the energy of the photoelectrons (50-2000 eV) that are emitted when a surface is bombarded with X-rays in a vacuum. The energy of these electrons is characteristic of the atom being bombarded, thereby allowing identification of elements in much the same way as in Auger electron spectroscopy (AES). (See February issue, P&SF, "SVC Topics" column, p. 60).
机译:X射线光电子能谱(XPS)或有时称为化学分析电子能谱(ESCA)是一种表面敏感的分析技术,可分析当电子发射时产生的光电子的能量(50-2000 eV)。在真空中用X射线轰击表面。这些电子的能量是被轰击原子的特征,因此可以像俄歇电子能谱(AES)一样识别元素。 (请参阅2月刊,P&SF,“ SVC主题”专栏,第60页)。

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