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加工機上計測および光学機能シミュレーションによる超精密光学素子の高精度化技術

机译:通过机上测量和光学功能仿真实现超精密光学元件的高精度技术

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摘要

2聿では加工機上形状計測手法の開発について説明し.本手法を適用した形状補正加工は加工精度の向上に有効であることを示した.3章では製造誤差を考慮した光学機能シミュレーション技術を適用することで試作回数を減らし高精度化を図る試みについて概説した.
机译:在第2节中,我们解释了机上形状测量方法的发展,并表明使用该方法进行形状校正处理对于提高加工精度是有效的。在第3章中,我们讨论了考虑制造误差的光学功能仿真技术。我们概述了通过应用原型来减少原型数量并提高准确性的尝试。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2019年第7期|632-635|共4页
  • 作者

    森田晋也;

  • 作者单位

    東京電機大学;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
  • 中图分类
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