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平成の精密計測を振り返る: ナノ·マイクロものづくりを支える光計測の発展

机译:回顾平成精密测量:支持纳米/微型制造的光学测量的发展

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摘要

光は,その高速伝搬性はもとより,機械的接触を伴わずに,作用対象の多様な物理属性に開連づけられた応答を示すこと,並列処理性を有していることなどから,精密計測に欠かせないエネルギーの一つである.このような,光が本質的に有している情報媒体としての優れた物理特性を積極的に活用することで,リモートセンシング技術,非破壊計測技術といった多彩な光特有の計測技術が開発されてきた.その用途は実に幅広く,高精度測長,微細情報取得,高速現象可視化といった要素技術を基盤として,ものづくり分野においても,新規加工現象の解明から,加工状態,加工物,製造プロセス全体の管理を実現する,精密光計測技術として実用化され,今日の精密ものづくり高度化の一助を担ってきたか.
机译:除了其高速传播特性外,光还表现出对作用对象的各种物理属性不限成员名额的响应,并且不涉及机械接触,并且具有并行处理特性。通过积极地利用光的这种优异的物理特性作为信息介质,这是使用遥感技术,无损测量技术等必不可少的能量。已经开发出了各种针对光的测量技术,其应用非常广泛,并且基于对新处理现象的理解,甚至在制造领域中,诸如高精度测量,精细信息的获取以及高速现象的可视化等基本技术。它是否已作为实现对加工状态,加工产品和整个制造过程的管理的精密光学测量技术投入实际使用,并为当今精密制造的发展做出了贡献?

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2020年第1期|8-12|共5页
  • 作者

    高橋 哲;

  • 作者单位

    東京大学先端科学技術研究センター(東京都目黒区駒場4-6-1);

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
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