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超精密Z微細加工の周辺技術と将来展望

机译：外围技术和未来超精密Z微制造前景

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摘要

超精密/微細加工技術は，これまで周辺技術の粋を集めた特別な加工技術として，光学部品などの限られた用途に適用されてきた.この方向性も継続している力5,近年，周辺技術の発展にともない，桁違いに大きな市場を有する精密加工技術との境界が曖昧になる可能性が生じている.例えば，加工技術としては超音波楕円振動切削技術によって需要の高い金型鋼への超精密/微細加工が可能となり，ェ作機械技術としては静圧案内の運動精度に迫る転がり案内が開発され，工具技術としては安価なダイヤモンドコーティング工具の切れ刃を高速に鋭利化するレーザ加工法が提案されている.こうした周辺技術の進歩によって，超精密/微細加工にとつて新しい技術展開の可能性が生まれている.そこで本稿では，それら周辺技術の例を紹介し，筆者が期待する本技術分野の将来像について展望したい.
机译：超精密/微制造技术已应用于有限的应用，例如光学组件，作为收集最佳外围技术的特殊处理技术。这个方向也在继续。很可能与大市场的精密加工技术的边界很可能是明确的。例如，作为过程技术，对模具钢的高需求作为加工技术。例如，与超声波椭圆振动切割技术的铸钢。可以开发超精密/微生物，并开发加工机技术，并开发加工机械技术，滚动指导接近静压引导的运动精度，作为刀具技术，激光加工，提出了廉价的廉价金刚石涂层工具的前沿，提出了法律的廉价金刚石涂层工具。这些诉讼技术创造了新技术的可能性超精密/微制造的开发。因此，在本文中，我们将介绍那些周围技术的例子，并期望我想向该技术领域的未来雕像前景。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2019年第7期|609-612|共4页
  • 作者

    社本英二;

  • 作者单位

    名古屋大学大学院工学研究科航空宇宙工学専攻;

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  • 正文语种 jpn
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