スペクトル制御干渉計測技術（ApreSCI)

著录项

• 来源
  《精密工学会誌》 |2019年第8期|685-689|共5页
• 作者

  清原耕輔; Chase SALSBURY; Artur G. OLSZAK;

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• 作者单位

  (株)清原光学（東京都板橋区舟渡3-28-10);

  Apre Instruments Inc. (2440 West Ruthrauff Road Suite 100 Tucson Arizona 85705);

  Apre Instruments Inc. (2440 West Ruthrauff Road Suite 100 Tucson Arizona 85705);

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 jpn
• 中图分类
• 关键词

  干渉計測; コヒーレンス; 波面計測;

  机译：干扰测量;相干;波前测量;