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【24h】

私の歩hできた道第3回イオンビーム加工との出会いと付き合い

机译:我的步骤H我可以与第三离子束处理相遇并关联

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摘要

平成2年度に,理工学部機械工学科から新設の基礎工学部電子応用工学科に配置替えに成リました.その際,基礎工学部の新設予算で集束イオンビーム加工装置(Au-Si液体金属イオン源を搭載)とSTM(走査型トンネル顕徽鏡)を宮本研究室に設置する事が出來ました.そこで,ダイャモンドの集束イオンビーム加工やSTM用探針のイオンビーム加工に関する研究を閉始しました.
机译:在1999年度,它被科学与工程学院机械工程系基金会替代。当时,通过新预算的聚焦离子束处理设备(配备有AU-Si液态金属离子源)基本工程部门的STM(扫描隧道隧道镜)安装在Miyamoto实验室中。因此,我们一直研究了Dyamond的聚焦离子束处理和STM探针的离子束处理。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2021年第4期|365-365|共1页
  • 作者

    宮本岩男;

  • 作者单位
  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
  • 中图分类
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