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2014年度(第10回)精密工学会技術奨励賞受賞業績の紹介

机译：2014年（第10届）日本精密工程技术鼓励奖

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摘要

本業績は，GaN系LEDの高輝度•高効率化のためのサファイア基板の表面加工において，ウエツトエッチング法を用いた微細パターン形状の制御メカニズムを解明したものである.エッチング液における混酸比やさまざまな酸とサファイアの反応メカニズムの違いにより定量的に形状制御ができることを明らかにした.本業績の成果は，高性能でかつ低コストなGaN系LEDの新たな製造プロセスとして期待できる.よって，本会の技術奨励賞に値する業績として認められる.
机译：这项工作阐明了在蓝宝石衬底的表面处理中使用湿法刻蚀方法对精细图案形状进行控制的机制，以实现GaN基LED的高亮度和高效率。澄清了可以通过各种酸和蓝宝石的反应机理的差异来定量控制形状。这一成果的结果可以作为高性能和低成本GaN基LED的新制造工艺而期待。被公认为学会的技术成就奖。

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  • 来源
    《精密工学会誌》 |2014年第12期|a7-a8|共2页
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