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探针形状の評価手法について: ナノ構造の寸法を計測する

机译:关于探针形状的评估方法:测量纳米结构的尺寸

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摘要

AFMで100nm以下のナノ構造の寸法を正確に評価するためには,探針の影響を考慮する必要がある.この影響を評価する最も簡単な方法は,線幅標準を利用して探針特性曲線を求めることである.これを利用すると,多くの人工的なナノ構造を直感的に評価可能である.また,深さ計測のためには.トレンチ構造を利用した実効探針形状特性の計測することで,信頼性のある,トレンチやコンタクトホールの深さ計測が可能になる.AFMの特性を十分に生かすためには,3次元の探針評価が望まれるが,現状では,探針より精度の高い既知の3次元ナノ構造の実現や,摩耗の問題の解決が必要である.
机译:为了使用AFM准确评估100 nm以下纳米结构的尺寸,有必要考虑探针的影响,评估这种影响的最简单方法是使用线宽标准使用该曲线可以直观地评估许多人造纳米结构,对于深度测量,使用沟槽结构测量有效的探针形状特征为了可靠地测量沟槽和接触孔的深度,为了充分利用AFM的特性,需要进行三维尖端评估,但是目前,有必要实现一种高度精确的已知3D纳米结构并解决磨损问题。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2013年第3期|209-212|共4页
  • 作者

    井藤浩志;

  • 作者单位

    産業技術総合研究所 茨城県つくば市梅園1-1-1;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
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