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Extended Shadowing Compensation Model in Robust SEM Photometric Stereo

机译：稳健的SEM光度立体视觉中的扩展阴影补偿模型

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This paper presents an extended shadowing compensation model for eliminating shadowing errors in the scanning electron microscope photometric stereo method. This extended model removes the earlier restrictive assumption that the shadowing effects exist only on horizontal surfaces. This model is developed by modeling image intensities in both the absence and presence of shadowing, A numerical solution is proposed to resolve the implicit expressions for double integrals in the model. Compared to the previous shadowing compensation model, the extended model can be more accurate when applied to shadowing regions on surfaces having large inclinations.
机译：本文提出了一种扩展的阴影补偿模型，用于消除扫描电子显微镜光度立体方法中的阴影误差。该扩展模型消除了先前的限制性假设，即阴影效应仅存在于水平表面上。该模型是通过在不存在阴影和存在阴影的情况下对图像强度进行建模而开发的。提出了一种数值解决方案，用于求解模型中双积分的隐式表达式。与以前的阴影补偿模型相比，扩展模型在应用于具有较大倾斜度的表面上的阴影区域时可以更准确。

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