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ナノインデンテーション用圧子先端形状の計測技術と押込み試験への影響

机译：纳米压痕压头形状的测量技术及其对压痕测试的影响

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摘要

本稿ではAFMを用いた圧子先端形状の直接検証とデータの解析法を示すとともに，圧子先端形状が押込み試験に与える影響として，先端に丸みのある圧子と試料の弾性接触問題を示した理論を紹介した.ナノインデンテーションの領域では現在のところAFMが唯一の形状測定方法であり，それを用いた圧子形状の直接検証の例を示し，そこから幾何形状や面積関数，トランケーション長さなどのパラメータを抽出する方法について解説した.また，圧子先端に丸みをもつ圧子を用いて押込み試験を行った場合の，圧子形状の影響として，押込み弾性率の理論的解析を紹介した.これらが読者にとって少しでも参考になれば幸いである.なお，回転双曲面圧子による弾性率の算出に開しては大木らが詳しく解説しているので，そちらも併せて参考にされたい.
机译：本文介绍了使用原子力显微镜（AFM）和数据分析方法对压头尖端形状的直接验证，并介绍了一种理论，该理论显示了带有圆形尖端的压头与样品之间的弹性接触问题，以及压头尖端形状对压痕测试的影响。目前，AFM是纳米压痕领域中唯一的形状测量方法，并显示了使用它直接验证压头形状的示例，从中可以获得诸如几何形状，面积函数和截断长度的参数。当使用带有圆形压头的压头执行压痕测试时，我们还介绍了压痕弹性模量作为压头形状影响的理论分析。如果您可以将其称为Oki等人，我们将不胜感激。详细说明通过旋转双曲面压头计算弹性模量，因此也请参考。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2013年第12期|1196-1199|共4页
  • 作者

    高木智史;

  • 作者单位

    産業技術総合研究所（茨城県つくば市梅園1-1-1）;

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