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【24h】

振動環境下で撮影された干渉像からの高精度位相抽出

机译：从振动环境中拍摄的干涉图像中高精度提取相位

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Vertical-scanning shape-measurement interferometry using white light cannot be used under vertically vibrating environment. Because, it is required to repeat predefined-length vertical movement with nanometer accuracy and interferogram capturing just after the movement. We developed the technology which can measure the changes of optical path difference (OPD) of an interferometer with nanometer resolution at around 20-μs interval. So, the technology can trigger interferogram capturing at even the moment when predefined-length movement happens to complete at an abnormal timing due to external vibrations. But vibrations in exposure time would change interferogram intensity captured. This change results in non-negligible measurement errors. Then we develop new phase extraction method which utilize history of OPD change in the exposure time and can remove the above errors. Validity of this method is also estimated by computer simulations.%MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）素子が近年各種製品に広く利用されており，それら素子では駆動される微細構造体の寸法が性能に大きく影響すると言われる．このため高精度な形状検査が求められるが，微細構造体は多くの場合に段差形状を含むので光学的検査では低コヒーレンス光源を組み込んだ垂直走査型干渉顕微鏡が広く使用される．
机译：在垂直振动的环境下，不能使用白光进行垂直扫描形状测量干涉法。因为，需要以纳米精度重复预定长度的垂直运动，并在运动后立即捕获干涉图。我们开发了可以在大约20μs的间隔内测量具有纳米分辨率的干涉仪的光程差（OPD）变化的技术。因此，即使在由于外部振动而在异常时机恰好完成预定长度的移动时，该技术也可以触发干涉图捕获。但是曝光时间的振动会改变捕获的干涉图强度。这种变化导致不可忽略的测量误差。然后，我们开发了一种新的相位提取方法，该方法利用了OPD曝光时间变化的历史，可以消除上述误差。还可以通过计算机模拟来评估此方法的有效性。％MEMS（微机电系统）素子が近年各种产品に広く利用されており，それら素子では駆动される微细构造体の寸法が性能に大きく影响すると言われる．．．．

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2011年第5期|p.502-506|共5页
  • 作者

    安達正明; 丹羽康人; 岩尾雄太;

  • 作者单位

    金沢大学理工研究域（金沢市角間町）;

    金沢大学大学院自然科学研究科;

    金沢大学大学院自然科学研究科;

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