...
  • 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文期刊>精密工学会誌 >Na_2SO_4電解酸化水の基本特性および金属に対するエッチング作用
【24h】

Na_2SO_4電解酸化水の基本特性および金属に対するエッチング作用

机译：Na_2SO_4电解水的基本性质及其对金属的腐蚀作用

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

This paper discusses the basic characteristics of electrolyzed oxidizing water of dilute Na_2SO_4 and the etching effects on the surface of metals. First, the structure and the characteristics of the electrolyzed oxidizing water producing system as well as how electrolyzed oxidizing water of dilute Na_2SO_4 is produced by it are described. The electrolyzed oxidizing water producing system used in this study is the one with three tanks. Next, the relation between the characteristic value of electrolyzed oxidizing water and the value of electrolyzed electrolytic-current is investigated experimentally. How the characteristic value of electrolyzed oxidizing water changes as time passes is also investigated in the same way. Lastly, using the result of the experiment on the etching of pure iron material, the oxygen-free copper material and the alloy of copper and nickel, this paper elucidates the characteristics of electrolyzed oxidized water of Na_2SO_4.%半導体デバイスをはじめとする精密機器の性能向上にともない，その構成部品について寸法精度，形状 精度のみではなく，表面層の化学組成や清浄度などに対する要求も厳しくなっている．例えば，研磨工 程後のシリコンウエハや光学ガラスの表面に付着している研磨材微粒子などを除去しなければならなく ，配線工程後の半導体デバイス上の金属イオン残渡や，めっき前の金属表面酸化皮膜なども除去する必 要がある．これらの精密機器の表面洗浄，処理工程においては，多種多量な薬液が使用され，環境負荷 の増加，製造コスト高をもたらすと同時に，作業員の健康にも悪影響を与える可能性がある．
机译：讨论了稀Na_2SO_4电解氧化水的基本特性以及对金属表面的腐蚀作用。首先，描述了电解氧化水生产系统的结构和特性，以及如何生产稀Na_2SO_4的电解氧化水。本研究中使用的电解氧化水生产系统是带有三个水箱的系统。接下来，实验研究电解氧化水的特性值与电解电解电流值之间的关系。还以相同的方式研究了电解氧化水的特征值如何随时间变化。最后，利用对纯铁材料，无氧铜材料以及铜镍合金的蚀刻实验结果，阐明了Na_2SO_4的电解氧化水的特性。％半导体デバイスをはじめとする精密机器の性能向上にともない，その构成部品について寸法精度，形状精度のみではなく，表面层の化学成分や清净度などに対する要求も厳しくなっている。例えば，研磨工程后のシリコンウエハや光学ガラスの表面に付着している研磨材料微粒子などを除去しなければならなく，配线工程后の半导体デバイス上の金属イオン残渡や，めっき前の金属表面酸化皮膜なども除去する必要がある。これらの精密机器の表面洗净，处理工程においては，多种多量な薬液が使用され，环境负荷の増加，制造コスト高をもたらすと同时に，作业员の健康にも悪影响を与える可能がある。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2011年第9期|p.851-855|共5页
  • 作者

    佐藤運海; 竹ノ　内敏一; 川久保英樹;

  • 作者单位

    信州大学教育学部（長野市西長野6のロ）;

    新光電気工業㈱（長野市大字北尾張部36）;

    野県工科短期 大学校（長野県上田市下之郷813-8）;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
  • 中图分类
  • 关键词

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号