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熱可塑性樹脂材料技術: 丸青石油化学の樹脂材料開発

机译：热塑性树脂技术：Marusei石化的树脂材料开发

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摘要

弊社で開発した熱ナノインプリント用樹脂の特徴をまとrnめると.rn1. 高成形性rn→より低温?低圧（Tg＋＜20℃/1MPa）でのインrnプリントが可能.rn2. 高耐熱劣化性rn→インプリントプロセス温度領域（～180℃）での樹rn脂熱劣化を抑制し，金型汚染回避が可能，TNP-rn02はさらに改善.rn3. 高エッチング耐性rn→エッチングプロセスに適用可能でSi，石英，サフrnァイア基板への加工に適用可能.rn4. 離型性rn→樹脂構造から設計し，離型剤不要で熱インプリンrnト可能，バイオデバイス用途への展開可能性大rnのようになる．代表的な熱可塑性樹脂であるPMMAとrnの樹脂物性の比較を表1に示す．
机译：总结本公司开发的热纳米压印树脂的特性rn1。高成型性rn→可以在较低的温度和较低的压力下（Tg ＋ <20℃/ 1MPa）进行压印。 Rn→压印工艺温度范围（最高180℃）抑制树脂rn的热变质并避免模具污染TNP-rn02得到进一步改善Rn 3.高耐蚀性rn→适用于蚀刻工艺Rn 4.剥离性rn→由树脂结构设计而成，不需使用脱模剂就可以进行热压印，在生物设备领域具有很大的发展潜力。它变得像rn。表1比较了典型的热塑性树脂PMMA和rn的物理性能。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2010年第2期|156-160|共5页
  • 作者

    高谷佳輝;

  • 作者单位

    丸善石油化学（株）研究所新商品開発室先端材料グループ（千葉県市原市五井南海岸11-2）;

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