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すきま理論に基づくラッピングシミュレーション（第1報）: 試料?工具の接触状態と相対弾性定数

机译：基于间隙理论的研磨模拟（第一份报告）：样品与工具的接触状态和相对弹性常数

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テレビや液晶などのディスプレイに使用されるガラス基板やリrnソグラフィに使用されるフォトマスクは大型化が進み，大面積化rnに伴う平坦度の向上が問題となっている．%Lapping technique has been usually applied to achieve high flatness to large plates that are used to manufacture liquid crystal displays of televisions and computers. The lapping simulation to calculate the surface generation process for various tool and workpiece profiles barely has been studied. On the other hand, the polishing simulation based on the gap theory was developed and it was clarified that the simulated results agreed well with experimental results. This paper describes the concept to apply the polishing simulation to lapping and the hypothesis to treat a rigid tool as an elastic body. The experimental results during a transitional period when lapping area expands from the local part to the whole surface were compared with the simulated results calculated using the gap theory. It was demonstrated that the relative elastic coefficient decreases with lapping time and converges to a constant value. The convergent value becomes large with the slope of the tool, but the grain size has no effect. The correlation exists between the relative elastic coefficient and the contact ratio of the workpiece with the tool. However, the relative elastic coefficient cannot be unambiguously determined by the contact ratio, and the slope of the tool or the gap gradient should be introduced to the simulation parameter.
机译：用于诸如电视和液晶的显示器的玻璃基板以及用于光刻的光掩模的尺寸正在增加，并且由于面积rn的增大而导致的平坦度的改善是一个问题。 ％研磨技术通常用于在用于制造电视和计算机液晶显示器的大板上实现高平坦度。几乎没有研究过研磨模拟来计算各种工具和晶片轮廓的表面生成过程。在此基础上，开发了基于间隙理论的抛光模拟方法，并阐明了模拟结果与实验结果吻合良好。将研磨区域从局部扩展到整个表面的过渡时期的实验结果与使用间隙理论计算的模拟结果进行了比较，结果表明相对弹性系数随研磨时间的延长而减小并收敛到一个恒定值。收敛值随着工具的倾斜度而变大，但是晶粒尺寸没有影响，相对弹性系数与工件与刀具的接触比之间存在相关性，但是相对弹性系数不能由接触比明确确定，刀具的斜率或间隙梯度应引入仿真参数。

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