MEMS商用化技術の現状と今後の展望

著录项

• 来源
  《精密工学会誌》 |2010年第5期|491-497|共7页
• 作者

  澤田廉士; 日暮栄治;

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• 作者单位

  九州大学大学院工学研究院機械工学部門（福岡県福岡市西区元岡744番地）;

  東京大学先端科学技術研究センター（東京都目黒区駒場4-6-1）;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 jpn
• 中图分类
• 关键词

  mems; commercialization; products; micro-sensors; micro-mirrors; micromachining; design;

  机译：记忆商业化;产品;微传感器;微镜;微加工设计;