スキャン光学エンコーダによるギャップ計測に関する一研究: レーザ干渉スキャン光学系と位相同期検波による2次元計測

著录项

• 来源
  《精密工学会誌》 |2010年第5期|552-556|共5页
• 作者

  牧野内　進; 今井　亨; 渡邉昭宏; 大原徹雄; 涌井伸二;

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• 作者单位

  株式会社ニコン（東京都千代田区丸の内3-2-3）;

  株式会社仙台ニコン（宮城県名取市田高字原277）;

  株式会社仙台ニコン（宮城県名取市田高字原277）;

  NanoWave Inc.,PO Box 490, Sutton, MA 01590, USA;

  東京農工大学大学院（東京都小金井市中町2-24-16）;

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