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【24h】

多軸サーフェスエンコーダの基礎

机译:多轴表面编码器的基础

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摘要

精密工学の分野において,多軸変位一括測定のニーズはrn数多く存在する.代表的な精密位置決め装置である1軸リrnニアステージの運動誤差に目を向けると,ステージ駆動軸rnに沿った位置決め誤差に加えて,2軸の真直度成分と3軸rn回りの姿勢誤差成分,計6軸の誤差成分が存在し,ステーrnジ運動誤差の評価および補正のためには,これらの誤差成rn分を同時に測定する必要がある.
机译:在精密工程领域,对多轴位移批量测量有很多需求。着眼于典型的精密定位装置的1轴重进台附近的运动误差,除了沿载物台驱动轴rn的定位误差,2轴的直线度分量和3轴rn周围的姿态误差误差分量总共有6个分量,因此有必要同时测量这些误差分量,以评估和校正平台运动误差。

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