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微細加工と表面檆能専閠委唗会活動報告

机译：微加工和表面功能专家委员会活动报告

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摘要

固体表面に設けた微細構造により，摩擦，濡れ，光学等rnの種々の機能が発現でき，それらの応用が増えつつある．rnしかし，そのような表面機能の設計から製作に至るプロセrnスについては解決すべき課題が多い．rnある加工プロセスで構造を作製し，機能発現に至るといrnう連鎖の中の加工プロセスに着目すると，近年の微細加工rn技術は古典的な除去加工プロセスに加えて，MEMSのよrnうな半導体製造技術，インプリントによる形状転写やスパrnッタ付着等，多様なものが用いられるようになってきていrnる．同一寸法の構造を製作するための加工技術が唯一無二rnであるということは決してない．
机译：固体表面上提供的精细结构可以表现出诸如摩擦，润湿和光学等各种功能，并且它们的应用正在增加。然而，在设计和制造这种表面功能的过程中有许多问题需要解决。如果我们专注于rn链中的制造过程，即通过某种加工过程创建结构并表达功能，那么最近的微加工技术不仅是经典的去除加工过程，正在使用各种各样的东西，例如制造技术，通过压印进行的形状转移以及纺布的粘附性。没有生产相同尺寸结构的独特加工技术。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2009年第1期|193|共1页
  • 作者

    諸貫信行;

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  • 正文语种 jpn
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