...
  • 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文期刊>精密工学会誌 >加速度センサノイズが空圧式除振装置の制御に与える影響
【24h】

加速度センサノイズが空圧式除振装置の制御に与える影響

机译：加速度传感器噪声对气动隔振器控制的影响

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

半導体露光装置に代表される精密位置決め分野では，同装置rnへの振動伝達を抑制するためにアクティブ除振装置が用いられrnる．一般に除振装置は地面と除振台の間にアクチュエータとrnして空気ばねを備える．空気ばねの構造上，空気ばね剛性に起rn因して圧力特性に反共振・共振が生じる問題点がある．
机译：在以半导体曝光设备为代表的精密定位领域中，使用有源隔振设备来抑制振动传递到设备rn。通常，防振装置在地面与防振台之间设有空气弹簧作为致动器。由于空气弹簧的结构，存在由于空气弹簧的刚度而在压力特性中产生反共振/共振的问题。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2009年第6期|778-779|共2页
  • 作者

    入江　亮; 高橋正人; 涌井伸二;

  • 作者单位

    東京農工大学大学院（東京都小金井市中町　2-24-16）;

    （株）ニコン（埼玉県熊谷市大字御稜威ヶ原　201-9）;

    東京農工大学大学院共生科学技術研究院;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
  • 中图分类
  • 关键词

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号