ステレオ視法によるSEM画像の3次元形状計測および復元

著录项

• 来源
  《精密工学会誌》 |2009年第6期|773-777|共5页
• 作者

  尾島裕隆; 村上幸博; 大塚春樹; 笹本侑弥; 周　立波; 清水　淳; 江田　弘;

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• 作者单位

  茨城大学（茨城県日立市中成沢町　4-12-1）;

  茨城大学（現;

  東北日本電気（株））;

  茨城大学大学院（現;

  凸版印刷（株））;

  茨城大学大学院;

  茨城大学（茨城県日立市中成沢町　4-12-1）;

  茨城大学（茨城県日立市中成沢町　4-12-1）;

  茨城大学（茨城県日立市中成沢町　4-12-1）;

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