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自己組織型マイクロ光造形法に関する研究

机译:自组装微立体光刻技术研究

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摘要

近年,トップダウン型の加工技術は,加工精度がサブマイクロメrnートルのオーダーに達し,高精度な微細3次元加工が可能となっていrnる.しかし,トップダウン型の加工技術を用いて,複雑なナノ3次元構rn造を加工する場合には,その加工精度の限界や生産設備の大規模rn化による製造コストの上昇が課題となる.これに対し,ナノ3次元構造rnを低コストで高精度に加工できる技術として,微粒子等の自己組織化rnを利用するボトムアップ型の加工技術が注目されている.
机译:近年来,自上而下的加工技术已达到亚微米级加工精度的水平,可以进行高精度的精细三维加工。然而,当使用自上而下的加工技术来加工复杂的纳米三维结构时,由于大型制造设备而存在诸如加工精度的限制和制造成本增加的问题。另一方面,使用自组装细颗粒rn的自下而上的加工技术作为可以低成本且高精度地加工纳米三维结构rn的技术备受关注。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2009年第10期|1227-1232|共6页
  • 作者单位

    大阪大学大学院 吹田市山田丘 2-1;

    大阪大学大学院 吹田市山田丘 2-1;

    大阪大学大学院 富士通;

    大阪大学工学部;

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  • 正文语种 jpn
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