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微細幾何計測の標準試料

机译：用于精细几何测量的标准样品

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超微細技術の進展に伴い，様々な機能を有する微小構造rn体が開発・作製されてきた．作製された微小構造体が所望rnの機能を有するかどうか検証する手段の一つとして，構造rn体の寸法・形状計測が行われる．微小寸法・形状を正確にrn測るためには，計測装置上に表示されるデジタル値や画像rnがどの程度正しいか，必要な品質・不確かきを有する標準rn試料を適宜利用して，装置の校正や動作確認を行うことがrn重要である．
机译：随着超精细技术的发展，具有各种功能的微结构体已被开发和制造。作为验证所制造的微结构是否具有期望的rn功能的手段之一，测量结构rn的尺寸和形状。为了准确地测量小尺寸和形状，测量设备上显示的数字值和图像rn的正确性如何，并使用具有必要质量和不确定性的标准rn样品，该设备校准并确认操作很重要。

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