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首页> 外文期刊>精密工学会誌 >元圧変動フィードフォワード補償の切替えによるハンチングの一抑制法
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元圧変動フィードフォワード補償の切替えによるハンチングの一抑制法

机译：通过切换源压力波动前馈补偿来抑制振荡的方法

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精密位置決めの分野では，低振動環境を実現するためアクテrnィブ除振装置の装着が必須となっている．位置決めサブナノrnの時代をむかえて，床振動の除振台上への伝達をより抑制するrnため，固有振動数を下げる研究開発が行われている．%In the field of precision measurement and positioning, an active anti-vibration apparatus is the necessary equipment to realize the low vibration environment. However, there was a problem that the position fluctuation of isolated table was generated due to the pressure fluctuation of supplied air. Then, in order to suppress the position fluctuation, a feedforward method using the detected signal of supplied air pressure was previously proposed. In the steady state, the fluctuation of isolated table was sufficiently suppressed using the feedforward compensation. However, a new problem, such that the fluctuation of isolated table is generated due to the switching of feedforward compensator, occurs. To overcome this problem, in this paper, the feedforward compensator is firstly reconstructed for easily parameter tuning. Next, the soft switching is introduced to moderate the fluctuation of isolated table due to the ON/OFF feedforward switching. Furthermore, the feedforward based on the difference detection of supplied air signal is proposed to realize perfect suppression. Finally, using the real air type anti-vibration apparatus, remarkable experimental results are shown.
机译：在精密定位领域，必须安装有源隔振器以实现低振动环境。在定位亚纳米的时代，正在进行研究以降低固有频率，以进一步抑制地板振动向振动隔离台的传递。 ％在精密测量和定位领域，有源减振设备是实现低振动环境的必要设备，但是存在一个问题，即由于供气压力波动而导致隔离工作台的位置波动然后，为了抑制位置波动，先前提出了一种使用送风压力检测信号的前馈方法。在稳态下，使用前馈补偿可以充分抑制孤立工作台的波动。为了克服这个问题，本文首先对前馈补偿器进行了重构，以方便参数的调整。然后，引入软开关来缓和波动。由于开/关前馈切换，导致隔离表的数量减少。最后，使用真实的空气型防振装置，显示出显着的实验结果。

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