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走査型白色干渉顕微鐁に内蔵可能な光路差変化量のリアルタイム測定法

机译：扫描白干涉显微镜可内置的光程差变化的实时测量方法

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微小物体の3次元形状を非接触で高速高精度に測定するにrnは各種の光学顕微鏡が利用できる，例えば共焦点レーザ顕微rn鏡や，白色干渉顕微鏡，白色共焦点顕微鏡を用いる方rn法などが知られている．この中で0.1μmの高分解能測定にもrn対応しているのは白色干渉顕微鏡を用いる方法である．白色rn干渉顕微鏡による測定精度をさらに高める方法として，位相rn抽出法を組み込む方法も提案され，位相を利用すると1nm近rnくの違いも分解できることが報告されている．%We propose changing-OPD (optical path difference) measurement technique which can be built in a scanning white-light interference microscope. The technique uses a laser beam introduced around an optical axis of the interference microscope. The laser beam reflected by a reference mirror in an objective lens and the laser beam reflected by a specimen surface make interferograms at an observing plane. These interferograms are continuously captured by a high-speed CCD line camera during a vertical scanning. Changing light intensities at two pixels having different phase and different modulations are normalized as having unity amplitude, and then subtraction and sum of them are calculated. From the calculated values changing phase is calculated and then change of OPD is also calculated after every interferogram capturing. To check accuracy of the proposed technique we carried out an experiment using a precision vertical scanning stage. After a 96μm vertical scanning, total changed OPD at different portions on the specimen surface are calculated and estimated having less than 10 nm in difference.
机译：可以使用各种光学显微镜不接触地高速，高精度地测量小物体的三维形状，例如，共聚焦激光显微镜，白色干涉显微镜或白色共聚焦显微镜。众所周知。其中，使用0.1μm的高分辨率测量的方法是使用白光干涉显微镜的方法。作为进一步提高白rn干涉显微镜的测量精度的方法，已经提出了结合有相rn提取法的方法，并且已经报道通过使用该相可以解决rn附近的1nm的差异。 ％我们提出了可以在扫描白光干涉显微镜中内置的change-OPD（光程差）测量技术，该技术使用围绕干涉显微镜光轴引入的激光束，并由参考镜反射。物镜上的激光束和样品表面反射的激光束在观察平面上形成干涉图，这些干涉图在垂直扫描过程中被高速CCD线相机连续捕获。在不同相位和不同调制的两个像素处改变光强度从归一化为具有统一的振幅，然后计算出它们的减和之和，从计算出的值中计算出变化的相位，然后在每次干涉图捕获之后还计算出OPD的变化。为检验所提出技术的准确性，我们进行了一项实验使用精确的垂直扫描平台。在进行96μm垂直扫描之后，d时的总OPD发生了变化计算并估计样品表面上的不同部分之间的差异小于10 nm。

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