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マイクロフレネルレンズ成形型の超精密研削(第2報): モリブデン製ツルアによる鋭利なエッジを有する研削ホイールの精密ツルーイングとフレネル形状の研削加工の高精度化

机译:微型菲涅耳透镜模具的超精密磨削(第二次报告):锋利的砂轮精密磨削和钼Tru子的高精度菲涅尔形状磨削

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摘要

近年,一般の非球面形状のレンズに回折光学素子を複合することにより従来のレンズ以上の特性を持たせることが可能となっている.回折光学素子とは基板上に形成した微細溝構造によって光を回折する素子であり,(1)画像の高精細化,(2)光学系のコンパクト化,(3)レンズ全体の軽量化などが達成できることが知られており,今後様々な分野での応用が期待されている.回折光学素子を作製する場合,フォトリソグラフィやエッチングなどの半導体加工プロセスを利用したものと機械加工による方法が考えられる.しかし,現在では加工時間や加工精度などを考慮して,後者のほうが多く用いられる傾向にある.
机译:近年来,通过将普通的非球面透镜与衍射光学元件组合,可以提供比常规透镜更多的特性。衍射光学元件是通过形成在基板上的细槽结构使光衍射的元件。已知这是可以实现的,并且有望在将来应用于各个领域。当制造衍射光学元件时,可以使用一种使用诸如光刻和蚀刻之类的半导体处理工艺的方法,以及一种使用机械处理的方法。但是,考虑到加工时间和加工精度,目前倾向于更频繁地使用后者。

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