超音波共鳴法による薄膜の弾性的性質の評価: 銅薄膜の高速回復現象のモニタナノング

中村暢伴; 中島丈雄; 荻　博次; 平尾雅彦

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超音波共鳴法による薄膜の弾性的性質の評価: 銅薄膜の高速回復現象のモニタナノング

机译：超声共振法评价薄膜的弹性性能：监测铜薄膜快速恢复现象的纳米功

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薄膜はしばしばバルク材とは異なる性質を示し，その特異な機能（磁気軋，電気的，光学的性質など）を利用したデバイスの開発が行われている．このために，薄膜の機能に関する研究はこれまでにも広く行われてきたが，機械的性質に関しては最近になってその重要性が認識されるようになってきた．中でも弾性定数は構造物の設計に必要なパラメータであることはいうまでもない．

机译：薄膜通常显示出与块状材料不同的特性，并且正在开发利用这些特殊功能（磁性，电学，光学等）的器件。因此，迄今为止对薄膜的功能进行了广泛的研究，但是近来已经认识到机械性能的重要性。当然，不用说弹性常数是设计结构所必需的参数。

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来源
《精密工学会誌》 |2007年第8期|p.875-878|共4页
作者
中村暢伴; 中島丈雄; 荻　博次; 平尾雅彦;
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作者单位

大阪大学大学院基礎工学研究科（大阪府豊中市待兼山町1-3）;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类机械制造工艺;仪器、仪表;
关键词

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