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近接場光を利用した界面・表面層評価技術

机译:使用近场光的界面/表面层评估技术

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摘要

光は,物理的接触を伴わずに対象へのエネルギーの受け 渡しが可能であり,本質的に計測パラメータとしての親和 性が高い.そのため,これまで,光が有する多様な物理特 性(①絶対的な長さ基準であること,②測定対象に関連づ けられた多様な光波属性値(振幅,波長,位相,偏光)を 取得できること,③光学的並列処理が可能であり,④電気 的物理量に容易に変換できるため高速コンピュータ処理が 可能であること,そして⑤測定対象への非破壊性,非襲侵 性を有していること等)を積極的に活用することで,実に 多彩な光学的計測技術が開発されてきた.
机译:光可以在没有物理接触的情况下将能量传递到目标,并且它具有很高的亲和力作为测量参数。因此,到目前为止,已经获得了光的各种物理特性(1)绝对长度标准,(2)与测量目标有关的各种光波属性值(振幅,波长,相位,偏振)。可能的情况③可以进行光学并行处理,④可以进行高速计算机处理,因为可以轻松地将其转换为电气物理量,并且⑤对测量目标无损且无创。通过积极地利用这些东西,已经开发了各种各样的光学测量技术。

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