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走査型電子顕微鏡における電子ビーム偏向による像ノイズの低減

机译：通过扫描电子显微镜中的电子束偏转减少图像噪声

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This paper addresses Scanning Electron Microscope (SEM). In detail, the image noise caused by the transient vibration due to the step moving of the specimen stage disturbs high throughput of the inspection, and the acoustic noise disturbs the correct shape observation of the specimen.This paper shows a way to solve this image noise problem with the feedforward compensator using the electron beam deflection that has no risk of the oscillation. Firstly, the mechanisms how those vibrations cause the image noises are explained, and it is shown flat the signal to compensate the transient vibration by step moving of the stage can be made from the low path filtered acceleration of the specimen chamber, and the signal to compensate the acoustic noise can be made from the band path filtered displacement of the specimen stage. Secondary, an electron beam deflection compensator, which uses two signals of the accelerometers, is designed. Finally, mis feedforward compensator is implemented to SEM, and remarkable reductions of the image noises in the step moving of the stage and under the condition of the acoustic noise, are shown.%走査型電子顕彿取(Scanning Electron Microscope：以下SEMと 略記）は，数千から数十万倍の倍率で試料表面を観察・分析する 装置であり，微生物の観察から半導体製造の検査工軽など，広 い分野に渡り利用されている．SEMを検査装置として利用する 場合，単位時間当たりにどれだけ多くの像の取得ができるか， すなわち，検査のスループットが重要である．そのため仁検査 される試料を保持し位置決めを行う試料ステージは高速で移 動・停止を繰り返す．
机译：本文介绍了扫描电子显微镜（SEM）。详细地讲，由样品台的步进运动引起的瞬态振动引起的图像噪声会干扰检查的高通量，而声学噪声会干扰样品的正确形状观察。本文介绍了解决此图像噪声的方法使用没有振荡风险的电子束偏转的前馈补偿器的问题。首先，解释了这些振动如何引起图像噪声的机制，并且示出了平坦地通过载物台腔的低路径滤波加速度来产生信号，以通过载物台的步进移动来补偿瞬态振动。可以通过带通滤波后的样品台位移来补偿噪声。其次，设计了一个电子束偏转补偿器，它使用了加速度计的两个信号。最后，在扫描电镜上实现了前馈补偿器，并在载物台的步进运动和声噪声条件下，显着降低了图像噪声。％走查型电子顕佛取（扫描电镜：以下SEM） SEMを。する查装置として利用する场合，単位时间当たりにどれだけ多くの像の取得ができるか，すなわち，検查のスループットが重要が。そのため仁検查される试料を保持し位置决めを行う试料ステージは高速で移动・停止を缲り返す。

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