6軸制御両端止りマイクロ溝加工

守屋貴雅; 石田　徹; 寺本孝司; 榎本俊之; 竹内芳美

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6軸制御両端止りマイクロ溝加工

机译：6轴控制两端停止微槽加工

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近年，各種光学機器は小型化，高集積化を果たしているが，これには回折光学素子（DOE：Difhctive Optical Element）が欠かせないものとなっている．DOEは非球面レンズ形状と微細清からなるホログラムパターンを併せもつもので，現状では超精密CNC旋盤により加工される金型から製造されている．このため，表面の溝形状は同心円状に限られている．今後，更なる高性能化を実現させるには，より複雑な溝形状を組み合わせた設計と，それを実現する高自由度な溝加工技術が求められる．

机译：近年来，各种光学装置已经小型化并且高度集成，但是为此，衍射光学元件（DOE：衍射光学元件）是必不可少的。 DOE具有非球面透镜形状和由细颗粒组成的全息图图案，目前由超精密CNC车床加工的模具制造。因此，表面上的凹槽形状限于同心圆。将来，为了获得更高的性能，将需要结合更复杂的凹槽形状和实现这一点的高度自由度的凹槽加工技术的设计。

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来源
《精密工学会誌》 |2007年第10期|p.1137-1141|共5页
作者
守屋貴雅; 石田　徹; 寺本孝司; 榎本俊之; 竹内芳美;
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正文语种 jpn
中图分类机械制造工艺;仪器、仪表;
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