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High speed 3-D shape measuring apparatus using shape from focus method

机译：利用聚焦法进行形状的高速3-D形状测定装置

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This paper describes the prototype of a 3-D shape measuring apparatus for inspection of LSI chips. The measuring principle of the apparatus is based on a shape from focus method. A major problem of the shape from focus method for practical use is the time required for acquisition of images at distinct focal planes. The newly developed mechanism has greatly reduced the time. This mechanism has simple structure and performs real-time(video rate) acquisition of the images with high positioning repeatability.
机译：本文介绍了用于检测LSI芯片的3-D形状测量设备的原型。该设备的测量原理基于聚焦法的形状。聚焦方法实际应用中形状的主要问题是在不同的焦平面上获取图像所需的时间。新开发的机制大大减少了时间。该机制结构简单，并且以高定位重复性执行图像的实时（视频速率）采集。

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