首页> 外文期刊>电波新闻 >エキシマ光照射ユニットを開発ウシオ電機
【24h】

エキシマ光照射ユニットを開発ウシオ電機

机译:准分子光照射装置USHIO的开发

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           

摘要

ウシオ電機は従来比5倍の高照度でありながら60%のダウンサイジングを実現した半導体製造プロセス向け工キシマ光照射ユニットの開発に成功した。同製品は2年度中に販売開始の予定。
机译:Ushio Electric Co.,Ltd.成功地开发了一种用于半导体制造工艺的工业光照射装置,该装置可实现60%的尺寸缩小,同时其照度是传统产品的5倍。该产品计划在第二年内开始销售。

著录项

  • 来源
    《电波新闻》 |2019年第17592期|6-6|共1页
  • 作者

  • 作者单位
  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
  • 中图分类
  • 关键词

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号