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広がるMEMS産業23年には3.5兆円規模ソサエティ5.0重要なキーデバイス

机译:扩大MEMS行业23年内达到3.5万亿日元社会5.0重要的关键设备

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摘要

MEMSは、日本語では「微小電気機械システム」とされる。半導体製造技術やレーザー加工技術、各種の微細加工技術を応用し、微小な電子回路と機械要素を一つの基板上に組み込んだセンサー、アクチユエータなどのデバイス/システム。モーションセンサー(スマホなどモバイル機器)、圧力センサー、加速度センサー(自動車用部品など)、光スイッチ用ミラーデバイス(光通信分野)、カンチレバー(電子顕微鏡)、RF-MEMSスイッチ(無線通信機器)など広がりをみせている。
机译:MEMS在日语中被描述为“微机电系统”。应用半导体制造技术,激光加工技术和各种精细加工技术的设备/系统,例如传感器和致动器,将微小的电子电路和机械元件整合到单个基板上。运动传感器(如智能手机之类的移动设备),压力传感器,加速度传感器(汽车部件等),用于光开关的反射镜设备(光通信领域),悬臂式(电子显微镜),RF-MEMS开关(无线通信设备)等。正在显示。

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    《电波新闻》 |2019年第17581期|2-2|共1页
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