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大阪大、東京大、村田製作所が共同で実証に成功

机译：大阪大学，东京大学和村田制作所共同成功进行了示范

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硬い半導体シリコン(Si)基板上に形成されてきたトンネル磁気抵抗素子は、ハードディスクの読み取りへッドや固体磁気メモリーとして広く利用されてきた。今回、大阪大学産業科学研究所の千葉大地教授と関谷毅教授は、東京大学大学院工学系研究科博士課程3年（兼大阪大学産業科学研究所特別研究学生）の太田進也氏、村田製作所の安藤陽氏らと共同で、柔らかいプラスチック基板（フレキシプル基板）上に形成したトンネル磁気抵抗素子(図1)が、硬い半導体基板上に形成した素子に匹敵する性能をもつことを実証した。さらに、同素子は繰り返し基板を引き伸ばしても壊れず動作する高い耐久性と、500℃近い加熱に対しても耐熱性をもつことを確認した。これらの結果は同素子が実用レベルに近い性能を有していることを示すものだ。今後、ウエアラブルデバイスへの磁気メモリー混載やフレキシブルな高感度磁界センサーとしての実用化、基板を引き伸ばすことで可逆的に変化する磁気的性質が大きな抵抗変化をもたらす現象を利用したメカニカルセンサーの実用化など、スピン素子の新たな産業応用展開を切り開くことが期待できる。
机译：形成在硬质半导体硅（Si）衬底上的隧道磁阻元件已被广泛用作硬盘和固态磁存储器的读取头。这次，大阪大学科学技术研究所的千叶第一千代教授和关谷刚史教授是东京大学工学研究科三年级博士生（兼大阪大学科学与工业研究所特聘研究员）大田伸也先生和村田制作所安藤先生。与Yoshi等人合作，我们证明了在软塑料衬底（柔性衬底）上形成的隧道磁阻元件（图1）具有与在硬半导体衬底上形成的元件相当的性能。另外，已经确认该装置具有高耐久性，从而即使反复拉伸基板也不会破裂，并且能够承受接近500℃的温度。这些结果表明该设备具有接近实用水平的性能。将来，磁存储器将被嵌入可穿戴设备中，将其作为柔性高灵敏度磁场传感器投入实际使用，而机械传感器将通过利用因拉伸基板而可逆地改变的磁性能导致大的电阻变化的现象而投入实际使用。 ，有望开启自旋器件的新工业应用开发。

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    《电波新闻》 |2019年第17791期|15-15|共1页
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