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【24h】

ラムリサーチ業界最高水準の生産性新たなエッチング装置発表

机译:Ram Research Industry最高的生产率新型蚀刻设备问世

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摘要

米ラムリサーチはこのほど、新たなプラズマエッチング装置「Sense. i (センスアイ)」を発表した。業界最高水準の生産性と革新的なセンサーテクノロジーを備え、今後10年にわたってロジックとメモリーデバイスの生産を支える。センスアイプラットフォームは、同社の「Kiyo」と「Flex」の各プロセスモジュールから進化したもの。均一性とエッチプロファイル制御の継続的な進化に不可欠なエッチング機能を実現し、最大化した歩留まりとウエハーコストの削減を可能にする。現在進行中のチップサイズの縮小とアスぺクト比の増加を見込んで、将来的なテクノロジーの変化にも対応できるよう設計されている。
机译:Ram Research Inc.最近宣布了一种新的等离子体蚀刻系统“ Sense。i”。凭借行业领先的生产力和创新的传感器技术,它将在未来十年内支持逻辑和存储设备的生产。 SenseEye平台是从公司的“ Kiyo”和“ Flex”过程模块演变而来的。它实现了对均匀性和蚀刻轮廓控制的持续发展必不可少的蚀刻功能,并最大限度地提高了产量和降低了晶圆成本。它旨在适应未来的技术变化,以预期不断缩小的芯片尺寸和增加的纵横比。

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    《电波新闻》 |2020年第17864期|5-5|共1页
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