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堀場エステック·コリア韓国で高性能MFCを量産へ

机译：Horiba Estech韩国在韩国高性能MFC批量生产

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堀場エステックの韓国子会社、堀場エステヅク·コリアが21年6月から現地生産拠点で高性能マスフ口ーコント口ーラ(MFC)「D500」シリーズの量産を開始する。MFCは半導体の成膜やエッチングプロセスにおいて様々なガスの質量流量を計測し、制御を行う機器。韓国国内でこれを生産することにより、サムスン電子やSK八ィニックスなどの半導体大手にジャストインタイムでの供給が可能になるだけでなく、従来より納期を半分以下に短縮できる。
机译：Horiba Estech的韩国子公司Horiba Este Juk韩国在6月21日开始在当地生产基地批量生产高性能面向叛徒（MFC）“D500”系列。 MFC测量半导体膜形成和蚀刻工艺中各种气体的质量流量并进行控制。通过在韩国生产这一点，不仅可以及时提供诸如三星电子和SK Menix的半导体，而且交货日也可以缩短一半以上。

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  • 来源
    《电波新闻》 |2021年第18098期|2-2|共1页
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