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高精細FPD向けプラズマエッチング装置を販売東京エレクトロン
【24h】
高精細FPD向けプラズマエッチング装置を販売東京エレクトロン
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机译：
销售高清FPD东京电子的等离子体蚀刻设备
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東京エレクトロンは、第6世代(1500×1850ミリメートル)ガラス基板対応プラズマエッチング装置を拡充。パネル基板上に均一な高密度プラズマを生成するプラズマモジュールである高精細プロセス向けに、新チヤンパー「PICP Pro」を搭載した「Impressio 1800 PICP Pro」と「Betelex 1800 PICP Pro」の販売を開始する。
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机译：
东京电子，第六代（1500×1850毫米）膨胀玻璃基板对应的等离子体蚀刻装置。高清晰度方法是用于在面板基板中产生均匀的高密度等离子体的等离子体模块，以开始使用新的Chiyanpa“PICP Pro”和“Impressio 1800 PICP Pro”“Betelex 1800 Picp Pro”销售。
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著录项
来源
《电波新闻》
|
2021年第18132期
|
5-5
|
共1页
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