首页> 外文期刊>电波新闻 >米EUVレジスト開発会社に東京応化が1.8億円出資
【24h】

米EUVレジスト開発会社に東京応化が1.8億円出資

机译:东京大冈向美国EUV抗蚀剂开发公司投资1.8亿日元

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           

摘要

東京応化工業はEUV(極端紫外線)レジストの実用化に向けた取り組みの一つとして、米国オレゴン州にあるEUV用レジスト開発するインプリア(Inpria)社へ出資する。出資金額は、150万ドル(約1.8億円)。インプリァ社は会社設立以来、金属含有EUVレジストの開発に積極的に取り組んでおり、現在はスズ酸化物を主成分とするレジストを開発。公表値における限界解像性では干渉EUV露光系で世界最高性能の限界解像結果を持つ。
机译:东京Ohka Kogyo将投资Inpria,后者在美国俄勒冈开发EUV抗蚀剂,这是将EUV(极紫外)抗蚀剂投入实际使用的一项努力。投资额为150万美元(约1.8亿日元)。自成立以来,Impreer一直在积极开发含金属的EUV抗蚀剂,目前正在开发以氧化锡为主要成分的抗蚀剂。在公布值的极限分辨率中,它在干涉EUV曝光系统中具有世界最高的极限分辨率。

著录项

  • 来源
    《电波新闻》 |2016年第16870期|3-3|共1页
  • 作者

  • 作者单位
  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
  • 中图分类
  • 关键词

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号