Response to “Comment on ‘MEMS-based high speed scanning probe microscopy’” [ Rev. Sci. Instrum. 81, 117101 (2010) ]

E. C. M. Disseldorp F. C. Tabak A. J. Katan M. B. S. Hesselberth T. H. Oosterkamp J. W. M. Frenken and W. M. van Spengen

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Response to “Comment on ‘MEMS-based high speed scanning probe microscopy’” [ Rev. Sci. Instrum. 81, 117101 (2010) ]

机译：回应“对“基于MEMS的高速扫描探针显微镜”的评论” [Rev. Sci。仪器81，117101（2010）

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来源
《Review of Scientific Instruments》 |2010年第11期|p.1|共1页
作者
E. C. M. Disseldorp F. C. Tabak A. J. Katan M. B. S. Hesselberth T. H. Oosterkamp J. W. M. Frenken and W. M. van Spengen;
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作者单位

Leiden University, Niels Bohrweg 2, 2333 CA Leiden, The Netherlands;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类
关键词
micromechanical devices; micromechanical resonators; scanning probe microscopy;

机译：微机械装置;微机械谐振器;扫描探针显微镜;

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