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Wall current probe: A non-invasive in situ plasma diagnostic for space and time resolved current density distribution measurement

机译：壁式电流探头：一种用于空间和时间分辨电流密度分布测量的非侵入性原位等离​​子体诊断

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In the context of low temperature plasma research, we propose a wall current probe to determine the local charged particle fluxes flowing to the chamber walls. This non-intrusive planar probe consists of an array of electrode elements which can be individually biased and for which the current can be measured separately. We detail the probe properties and present the ability of the diagnostic to be used as a space and time resolved measurement of the ion and electron current density at the chamber walls. This diagnostic will be relevant to study the electron transport in magnetized low-pressure plasmas.
机译：在低温等离子体研究的背景下，我们提出了一种壁电流探头，以确定流到腔室壁的局部带电粒子通量。这种非侵入式平面探针由一系列电极元件组成，这些电极元件可以单独偏置，并且可以分别测量电流。我们详细介绍了探针的性能，并提出了将诊断功能用作对腔室壁处离子和电子电流密度进行时空分辨的测量的功能。此诊断将与研究磁化低压等离子体中的电子传输有关。

著录项

  • 来源
    《Review of Scientific Instruments》 |2013年第8期|1-4|共4页
  • 作者

    Baude; R.; Gaboriau; F.; Hagelaar; G.J.M.;

  • 作者单位

    Université de Toulouse, UPS, INPT, LAPLACE (Laboratoire Plasma et Conversion d’énergie), 118 route de Narbonne, F-31062 Toulouse Cedex 9, France and CNRS, LAPLACE, F-31062, Toulouse, France|c|;

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