...
  • 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文期刊>Pomiary Automatyka Kontrola >Badania doświadczalne czujnika MEMS przy wykorzystaniu wibrometru laserowego
【24h】

Badania doświadczalne czujnika MEMS przy wykorzystaniu wibrometru laserowego

机译：使用激光振动计的MEMS传感器的实验研究

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

W artykule przedstawiono problematykę doświadczalnych badań dynamicznych mikroukładów elektromechanicznych (MEMS) na przykładzie czujnika ciśnienia. Zaprezentowano stanowisko badawcze wykorzystujące wibrometr laserowy. W związku z trudnościami wymuszania dynamicznego MEMS zaproponowano metodę wzbudzania układu za pomocą przetwornika piezoelektrycznego a następnie porównano i omówiono wyniki badań uzyskanych przy zastosowaniu różnych sygnałów wymuszających.%The growth of technological capabilities in the field of manufacturing and machining of microelectromechanical systems (MEMS) results in the trend toward devices miniaturization. In many applications it is necessary to carry out experiments of MEMS (e.g. dynamic parameters identification), which in conjunction with miniature dimensions, turns out difficult. Problematic is both a dynamic excitation of such structures vibrations recording. The paper presents the process and results of dynamic testing of MEMS structure using laser vibrometer. Section 2 presents test object, the pressure sensor, which was chosen due to the presence of a flexible diaphragm having a distinct form of vibration. In Section 3 the test stand, consisting of laser vibrometer, microscope, a PC with dedicated Polytec software and Signal Generator is described. Due to impossibility of application of standard dynamic excitation (e.g. impact test or shaker) the piezoelectric transducer was proposed as an alternative. The software enables generating both deterministic signals (e.g. Sine wave, Sweep, Square) as well as non-deterministic (Pseudo Random, Random Burst) by a signal generator coupled to the power supply. Section 4 includes the course of research and in Section 5 the comparison of test results for all applied excitation signals is presented. The summary and conclusions can be found in Section 6.
机译：本文以压力传感器为例，介绍了机电微电路（MEMS）的实验动态测试问题。介绍了使用激光振动计的测试台。由于动态MEMS强迫的困难，提出了一种使用压电换能器进行系统激励的方法，然后比较并讨论了使用各种强迫信号获得的测试结果。器件小型化的趋势。在许多应用中，有必要进行MEMS实验（例如，动态参数识别），而与微型尺寸相结合却变得困难。问题是这种结构的振动记录都是动态激励的。本文介绍了使用激光振动计对MEMS结构进行动态测试的过程和结果。第2节介绍了测试对象压力传感器，它的选择是由于存在具有明显振动形式的柔性膜片。在第3节中，将介绍测试台，该测试台由激光测振仪，显微镜，带有专用Polytec软件的PC和信号发生器组成。由于无法应用标准动态激励（例如冲击试验或振动筛），建议使用压电换能器作为替代方案。该软件能够通过与电源耦合的信号发生器生成确定性信号（例如正弦波，扫频，方波）以及非确定性信号（伪随机，随机突发）。第4节包括研究过程，第5节介绍了所有施加的激励信号的测试结果的比较。总结和结论可以在第6节中找到。

著录项

  • 来源
    《Pomiary Automatyka Kontrola》 |2014年第12期|1084-1086|共3页
  • 作者

    Mateusz KASPROWIAK; Marcin JASIEWICZ; Bartosz POWAŁKA; Arkadiusz PARUS;

  • 作者单位

    ZACHODNIOPOMORSKI UNIWERSYTET TECHNOLOGICZNY W SZCZECINIE, ISTYTUT TECHNOLOGII MECHANICZNEJ 70-310 Szczecin, Al. Piastów 17;

    ZACHODNIOPOMORSKI UNIWERSYTET TECHNOLOGICZNY W SZCZECINIE, ISTYTUT TECHNOLOGII MECHANICZNEJ 70-310 Szczecin, Al. Piastów 17;

    ZACHODNIOPOMORSKI UNIWERSYTET TECHNOLOGICZNY W SZCZECINIE, ISTYTUT TECHNOLOGII MECHANICZNEJ 70-310 Szczecin, Al. Piastów 17;

    ZACHODNIOPOMORSKI UNIWERSYTET TECHNOLOGICZNY W SZCZECINIE, ISTYTUT TECHNOLOGII MECHANICZNEJ 70-310 Szczecin, Al. Piastów 17;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 pol
  • 中图分类
  • 关键词

    badania doświadczalne; czujnik ciśnienia MEMS; wibrometr laserowy;

    机译：实验研究;MEMS压力传感器;激光振动计;

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号