高岳製作所のFPD用フォトマスク欠陥検査装置海外展開も視野に入れ，市場拡大を目指す2鏡筒双方向スキャンにより検査時間を短縮

河野修

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【24h】

高岳製作所のFPD用フォトマスク欠陥検査装置海外展開も視野に入れ，市場拡大を目指す2鏡筒双方向スキャンにより検査時間を短縮

机译：Takatake Manufacturing的用于FPD的光掩模缺陷检查系统旨在扩大市场，以扩大海外市场；两管双向扫描可缩短检查时间。

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LCD-TVやPDP-TVの大型化・高精細化に伴い，rnFPD用フォトマスクもさらなる大型イヒ・微細化が求rnめられている。フォトマスクに，欠けや突起などのrn欠陥やゴミなどの異物があると，転写後の回路パタrnーンが設計と異なるものとなり，不具合の原因となrnる。そのため，フォトマスクの欠陥の有無を検査すrnることは，製造工程において歩留りを決める重要かrnつ不可欠な工程といえる。本稿では，高岳製作所のrnFPD用フォトマスク欠陥検査装置について，エレクrnトロニクス装置事業本部管理部長の鈴木広人氏とrn同部マスク機器グループ兼サービスグループグルrnープマネージャーの内山亨氏に話しを伺った。

机译：随着LCD-TV和PDP-TV的清晰度越来越高，要求rnFPD的光掩模越来越大。如果光掩模具有诸如芯片或突起之类的缺陷或诸如灰尘之类的异物，则转印后的电路图案将与设计不同，这将导致缺陷。因此，可以说检查光掩模的缺陷是确定制造过程中的成品率的重要或必不可少的步骤。在本文中，我们将讨论由Takadake Corporation与Elekrntronics Systems Division总经理Suzuki Hiroto Suzuki以及同一部门的Mask Device Group和Service Group Grurnoop Manager的Toru Uchiyama制造的rnFPD的光掩模缺陷检查系统。它是

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来源
《Semiconductor FPD World》 |2008年第6期|82-83|共2页
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河野修;
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