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JEOLの半導体分析・故障解析装置Beam Tracerを中心に故障解析フローを提案収差補正技術でさらなる高分解能化を目指す

机译:提出以JEOL Beam Tracer半导体分析和故障分析设备为中心的故障分析流程,旨在通过像差校正技术实现更高的分辨率

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摘要

JEOLは,理科学機器と産業機器を主軸に,幅広い分野への製品提供を行っている。製品ラインナップとしては,コア技術となる電子顕微鏡をベースに,TEM/STEM,各種分析機器,SEM,電子ビーム直描装置,直進形電子銃などの産業用機器,医療用分析装置まで多岐にわたる。本稿では,半導体分析・故障解析にフォーカスし,同社計測検査機器事業部が扱うSEM,FIB複合装置をはじめ,欠陥レビュー装置,半導体故障解析装置などの概要を,執行役員計計査機器本部 副本部長兼WSグループ長の若宮亙氏,計測検査機器本部SMグループBTチームチームリーダーの野久尾毅氏に伺った。
机译:JEOL提供以科学设备和工业设备为中心的广泛领域的产品。产品系列涵盖了多种产品,包括基于核心电子显微镜的TEM / STEM,各种分析仪器,SEM,电子束直写设备,直射式电子枪和其他工业仪器以及医学分析仪器。本文着重于半导体分析和故障分析,概述了由公司的测量和检查设备部门,缺陷检查设备,半导体故障分析设备等处理的SEM和FIB复合设备。我们询问了WS小组负责人若宫靖(Yasushi Wakamiya)先生和测量与检验设备总部SM小组BT团队的负责人Tsuyoshi Nokuo先生。

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