Super Sensitive Mass Detection in Nonlinear Regime

著录项

• 来源
  《Sensing and imaging》 |2015年第2015期|5-5|共1页
• 作者

  Saber Azizi; Iman Ahmadian; Cetin Cetinkaya; Ghader Rezazadeh;

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• 作者单位

  1.Urmia University of Technology Urmia Iran;

  2.Mechanical Engineering New Jersey Institute of Technology University Heights Newark Newark NJ 07102 USA;

  3.Clarkson University Potsdam NY USA;

  4.Mechanical Engineering Urmia University Urmia Iran;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类
• 关键词

  MEMS; Nonlinear dynamics; Mass sensing; Frequency shift; Electro static actuation;

  机译：MEMS;非线性动力学;质量感测;频移;静电致动;