A Novel Micro-cantilever Based Angular Speed Sensor Controlled Piezoelectrically and Tuned by Electrostatic Actuators

A. Shah-Mohammadi-Azar; R. Shabani; G. Rezazadeh

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A Novel Micro-cantilever Based Angular Speed Sensor Controlled Piezoelectrically and Tuned by Electrostatic Actuators

机译：新型微悬臂角速度传感器的压电控制和静电致动器的调谐

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来源
《Sensing and imaging》 |2015年第2015期|8-8|共1页
作者
A. Shah-Mohammadi-Azar; R. Shabani; G. Rezazadeh;
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作者单位

1.Mechanical Engineering Department Urmia University Urmia Iran;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类
关键词
Angular speed sensor; Centrifugal force; Piezoelectric; Micro-beam; Electrostatic actuation;

机译：角速度传感器;离心力;压电;微束;静电驱动;

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