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ハイブリッド軸受型ターボ分子ポンプTMP-B300形の開発

机译：混合轴承式涡轮分子泵TMP-B300的开发

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Turbo molecular pumps(TMPs)used in the analysis and measurement equipment market,general vacuum industry market,and university and laboratory markets,are required to be compact and inexpensive. Two types of TMPs are available,the magnetic levitation type TMP and the ball bearing type TMP.Shimadzu Corporation has traditionally manufactured and sold magnetic levitation type TMPs.Ball bearing type TMPs include the hybrid bearing type in which a ball bearing and a magnetic bearing using a permanent magnet are combined.This enables the pump to be more compact and inexpensive,meeting the demands of the analytical and measuring equipment market.In this paper,we introduce the TMP-B300,a hybrid bearing type TMP that has a high compression ratio and low heat generation.%分析·計測装置市場，一般真空産業市場，大学·研究所市場に用いられるターボ分子ポンプ(以下TMP)は，小型かつ安価であることが求められる。TMPには磁気浮上型TMPとボールべアリング型TMPがあり，ボールべアリング型TMPには，さらにボールべアリングと永久磁石による磁気軸受を組み合わせたハイブリッド軸受型がある。これは小型化と低価格化が可能で，主市場である分析·計測装置市場の要求に合う。本稿では，ハイブリッド軸受型TMPとして高い圧縮比を有し，低発熱を実現したTMP-B300形について紹介する。
机译：要求分析和测量设备市场，通用真空工业市场以及大学和实验室市场中使用的涡轮分子泵（TMP）紧凑而廉价。提供两种类型的TMP：磁悬浮TMP和滚珠轴承Shimadzu Corporation传统上制造和销售磁悬浮型TMP，而滚珠轴承型TMP包括混合使用球轴承和使用永磁体的磁轴承的混合轴承型，这使得泵更紧凑，更便宜为了满足分析和测量设备市场的需求，本文介绍了TMP-B300，一种具有高压缩比和低发热的混合轴承型TMP。％分析/测量设备市场，通用真空行业市场，用于大学/实验室市场的涡轮分子泵（TMP）要求体积小且价格便宜。 TMP中有磁悬浮型TMP和滚珠轴承TMP，而在TMP滚珠轴承中则有将球轴承和磁轴承与永磁体结合在一起的混合轴承型。它可以小型化并降低价格，并满足分析和测量设备主要市场的要求。本文介绍了TMP-B300混合轴承型TMP，它具有较高的压缩比和较低的发热量。

著录项

  • 来源
    《島津評論》 |2016年第4期|107-112|共6页
  • 作者

    清水幸一; 森山伸彦;

  • 作者单位

    産業機械事業部　TMPビジネスユニット;

    産業機械事業部　TMPビジネスユニット;

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