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革新的新技術を用いた高分解能波長分散型Ⅹ線分光器（MCX分光器）の開発

机译：使用创新技术开发高分辨率波长色散型X射线光谱仪（MCX光谱仪）

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Our newly developed compact wavelength-dispersive X-ray spectrometer, named MCX spectrometer, has an innovative X-ray element (MCX: multi-capillary X-ray lens) and a flat analyzing crystal. This MCX spectrometer is expected to be used for SEM (Scanning Electron Microscope), TEM (Transmitted Electron Microscope) and many kinds of microanalysis instruments using electron, ion, laser, X-ray as well as EPMA (Electron Probe Microanalyzer). The MCX spectrometer was mounted on a general-purpose SEM (scanning electron microscope) and soft X-ray spectra were inspected. The oxygen K band spectrum by RAP (rubidium acid phthalate) crystal and the carbon K band spectrum by PbST (lead stearate) were measured. Our new spectrometer proved to have about the same wavelength resolution as the EPMA curved crystal spectrometer that has high reliability.%著者らは，革新的新技術であるマルチキヤピラリⅩ線レンズ（MCX：Multi-Capillary X-ray Lens）と平板分 光結晶を用いた小型の波長分散型Ⅹ線分光器（MCX分光器）を開発試作した。EPMA（Electron Probe Micro- Analyzer）のみならずTEM（Transmitted Electron Microscope）やSEM（Scanning Electron Microscope）を はじめ，電子ビーム・イオンビーム・レーザ・Ⅹ線などを用いた各種のマイクロアナリシスの分野で広く用い られる柔軟性を持つものである。このMCX分光器を汎用SEMに取り付け，軟Ⅹ線スペクトルの特性を調べ た。今回開発したMCX分光器は4個の平板分光結晶が取り付けられるが，RAP（Rubidium Acid Phthalate） による酸素のKバンドスペクトルの1次線およびPbST（Lead Stearate）による炭素のKバンドスペクトルの 1次線と2次線を測定した。これらのスペクトルはすでに信頼度の高いEPMA用湾曲結晶分光器で測定され ているが，MCX分光器により得られたスペクトルをEPMAによるスペクトルと比較した結果，波長分解能が 同等であることが認められた。
机译：我们新开发的紧凑型波长色散X射线光谱仪（称为MCX光谱仪）具有创新的X射线元件（MCX：多毛细管X射线透镜）和平坦的分析晶体。该MCX光谱仪有望用于SEM（扫描电子显微镜），TEM（透射电子显微镜）以及使用电子，离子，激光，X射线以及EPMA（电子探针显微分析仪）的多种显微分析仪器。将MCX光谱仪安装在通用SEM（扫描电子显微镜）上，并检查软X射线光谱。测定了RAP（邻苯二甲酸rub酸）晶体的氧K能谱和PbST（硬脂酸铅）的碳K能谱。事实证明，我们的新型光谱仪具有与EPMA弯曲晶体光谱仪相同的波长分辨率，具有很高的可靠性。％著者らは，革新的新技术であるマルチキヤピラリⅩ线Ⅹンズ（MCX：多毛细管X射线透镜）と平板分光结晶を用いた小型の波长分散型Ⅹ线分光器（MCX分光器）を开発试作した。EPMA（电子探针显微分析仪）のみならずTEM（透射电子显微镜）やSEM（扫描电子显微镜）をX，电子ビーム・イオンビーム・レーザ・Ⅹ线などを用いた各种のマイクロアナリシスの分野で広く用いられる柔软性を持つものである。このMCX分光器を泛用SEMに取り付け，回回の1次线と2次线を测定した。これらのスペクトルはすでに信頼度の高いEP ，波长分解能が同等であることが认められた。

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