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Ultra High Resolution Scanning Electron Microscope

机译：超高分辨率扫描电子显微镜

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A new ultra high resolution electron microscope has been built. The prototype instrument is designed for low voltage scanning electron microscopy studies, and as a test bed for new microscopy technologies. The microscope column is a two lens design, with a special, low aberration, single pole snorkel objective lens. The basic design and mechanical components ,of the instrument are described. Probe current measurements, and images acquired at beam energy 1 keV and 15 keV are presented. Inspection of the images reveals a probe diameter below 4 nm at 1 keV, and below 1 nm at 15 keV.%低収差で特に低エネルギープローブ測定にて性能を発揮する高分解能電子顕微鏡を開発した。また，この顕微鏡は新しい技術の開発ベンチとして利用し，色収差をなくすためのモノクロメータ付き電子源の開発や無収差光学系の開発に用いる。鏡筒は低収差の単極型シュノーケル対物レンズとコンデンサーレンズによる，シンプルな2レンズ構成となっており，クロスポイントを持たない平行ビームの光学系となっている。そのため，低エネルギーにおいても空間電荷の影響を避け良好な画像を得ることができる。1keVと15keVの電子ビームにて性能評価を行い，取得画像の評価から1keVでは4nm，15keVでは1nmを切る電子ビームプローブ径を実現している。
机译：新型超高分辨率电子显微镜已经建成，该原型仪器专为低压扫描电子显微镜研究而设计，并作为新显微镜技术的试验台。显微镜柱为两透镜设计，具有特殊的低像差，单极浮潜物镜描述了仪器的基本设计和机械部件进行了探针电流测量并给出了在1 keV和15 keV的束能量下获取的图像图像检查显示在1 nm处探头直径小于4 nm keV，并且在15 keV。％时低于1 nm。我们开发了一种高分辨率电子显微镜，该显微镜显示出低像差，对于低能量探针测量特别有效。此外，该显微镜还将用作新技术的开发平台，并将用于开发带有单色仪的电子源，以消除色差并开发无像差的光学系统。镜筒具有简单的两透镜结构，包括低像差单极浮潜物镜和聚光镜，并且是没有交叉点的平行光束光学系统。因此，即使在低能量下也可以在避免空间电荷的影响的同时获得良好的图像。用1 keV和15 keV的电子束评估性能，从获得的图像评估中，我们实现了1 keV的电子束探针直径为4 nm，而在15 keV的电子束探针直径小于1 nm。

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