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Thin film Lamb wave resonant structures - The first approach

机译：薄膜兰姆波共振结构-第一种方法

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Resonant Lamb wave based geometries on c-oriented aluminum nitride (AlN) thin film membranes are studied. Attention has been focused on the lowest order symmetric Lamb mode because of its extremely high velocity approaching 10,600 m/s. The Lamb waves have been excited by means of both inter-digital transducers (IDT) and longitudinal wave (LW) transducers. Two basic reflector geometries have been used along with the conventional one-port resonator topology. The experimental results obtained demonstrate that Lamb waves can be successfully used as an alternative to high velocity surface acoustic waves. A discussion regarding the ways for improving the device performance is provided, and hence future research aspects in the area are identified.
机译：研究了基于取向Lamb波的c取向氮化铝（AlN）薄膜的几何形状。由于其极高的速度接近10,600 m / s，因此已经将注意力集中在最低阶对称Lamb模式上。兰姆波已通过叉指换能器（IDT）和纵波（LW）换能器激发。与常规的单端口谐振器拓扑一起使用了两种基本的反射器几何形状。获得的实验结果表明，兰姆波可以成功地替代高速表面声波。提供了有关改善设备性能的方法的讨论，因此可以确定该领域未来的研究方向。

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