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Improved copper wire bonding with non-contact metrology

机译:改进的非接触式铜线键合

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摘要

Wire bonding is increasingly moving to copper instead of gold because of the relative cost of these materials. The migration has begun in earnest in logic and will soon be followed by MEMS and analog applications. But while copper avoids some of the drawbacks of gold, including its rapidly escalating cost, it comes with its own challenges and is considerably less mature. High-density pad imprint sampling is necessary to achieve the high reliability the packaging industry needs, which thankfully can approach that of gold. This need is well met by the 3D optical microscope.
机译:由于这些材料的相对成本,引线键合越来越多地转向铜而不是金。迁移已从逻辑上认真开始,不久之后将是MEMS和模拟应用。但是,尽管铜避免了黄金的某些弊端,包括其成本迅速上涨,但它也面临着自身的挑战,而且还不太成熟。高密度垫印记采样对于实现包装行业所需的高可靠性是必要的,幸运的是,这种可靠性可以接近黄金。 3D光学显微镜可以很好地满足这一需求。

著录项

  • 来源
    《Solid state technology》 |2012年第2期|p.23-25|共3页
  • 作者

    MATT NOVAK;

  • 作者单位

    Bruker Nano Surfaces Division, Tucson, AZ;

  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
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