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Optimized calibration and measurement procedures in rotating analyzer and rotating polarizer ellipsometry

机译：旋转分析仪和偏振偏振椭圆仪中优化的校准和测量程序

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Accurate spectroellipsometric (SE) measurements in the rotating analyzer (RAE) or rotating polarizer (RPE) configurations require accurate values of the polarizer/analyzer(/retarder) azimuths. While the readings are usually fairly accurate, true values are influenced by possible offsets between the plane of incidence, physical axes of the elements, and the instrument scales. The offsets are often determined by specialized calibration procedures. We describe SE measurements designed to obtain the calibration parameters together with the target ellipsometric spectra. We use multiple settings of the polarizer (analyzer) azimuths in RAE (RPE), respectively, to optimize precision and accuracy of SE measurements, and to economize measurement time. The optimization concerns the choice of measurement parameters as well as the subsequent data analysis. We present in detail examples of visible-ultraviolet measurements.
机译：在旋转分析仪（RAE）或旋转偏振器（RPE）配置中进行准确的分光镜（SE）测量需要精确的偏振器/分析仪（/延迟器）方位角值。虽然读数通常相当准确，但真实值会受到入射平面，元素的物理轴和仪器刻度之间可能存在的偏移的影响。偏移量通常由专门的校准程序确定。我们描述了旨在获得标定参数以及目标椭偏光谱的SE测量。我们分别在RAE（RPE）中使用偏振器（分析仪）方位角的多种设置，以优化SE测量的精度和准确性，并节省测量时间。优化涉及测量参数的选择以及随后的数据分析。我们提供了可见紫外线测量的详细示例。

著录项

  • 来源
    《Thin Solid Films》 |2011年第9期|p.2703-2706|共4页
  • 作者

    F. Münz; J. Humlicek; P. Marsik;

  • 作者单位

    Masaryk University, Fac. of Science, Dept. Cond. Matt. Phys., Kotlarska 2, CZ-63711 Brno, Czech Republic;

    Masaryk University, Fac. of Science, Dept. Cond. Matt. Phys., Kotlarska 2, CZ-63711 Brno, Czech Republic;

    University of Fribourg, Physics Dept., Chemin du Musee 2, CH-1700 Fribourg, Switzerland;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
  • 关键词

    ellipsometry; spectroscopic; analyzer; rotating;

    机译：椭圆仪光谱分析仪旋转;

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